Производственное оборудование

Станок для снятия фаски на пластинах для микроэлектроники Ф1Ш

Паспорт изделия

Предназначен для изготовления фаски на пластинах, применяемых для производства электронных приборов. Изделие выполняет полную обработку фаски по контуру пластины согласно требованиям. Профиль фаски задаётся применяемым инструментом.

Наименование параметра	Значение
Диаметр обрабатываемых пластин, мм	от 49 до 152
Точность обработки, мм	0,01
Толщина обрабатываемых пластин, мм	от 0,2 до 3,0
Длина базового среза, мм	более 70
Точность ориентации базового среза, угл. мин	не более 5
Скорость линейной подачи инструмента, мм/мин	от 60 до 3000
Величина поперечной подачи, мм	от 0,01 до 0,5
Точность подачи, мм	0,01

В качестве сменного инструмента используется алмазный диск профильный для шлифования фаски. Внешний диаметр 50мм, толщина 5мм, внутренний диаметр 10мм.

Ламинатор LTA 2001

Предназначен для герметизации солнечных батарей.

Наименование параметра	Значение
Размер рабочей поверхности, мм	1700 × 900
толщина ламината, мм	5
Размер нагреваемой поверхности, мм	1900 × 1000
Максимальная температура, °C	150
Однородность температуры, °C	± 5
Загрузка	ручная
Длительность одного цикла ламинации не более, мин.	60
Маскимальная потребляемая мощность, кВт	2
Размер рабочего стола, мм	2200 × 1200 × 1200
Источник питания, В, Гц, фазы	380, 50, 3
Время нагева от 50°C до 150°C мин., не более	40
Время охлаждения от 150°C до 60°C, мин., не более	15

Измерительные приборы

Тестер солнечных элементов ST1000

Предназначен для измерения фото-электрических параметров солнечных элементов.

Наименование параметра	Значение
Диапазон регулировки интенсивности светового потока, Вт/м²	600 - 1200
Неравномерность светового потока за время одного измерения, %	1
Поле однородной засветки при неравномерности 1%, мм	150х150
Спектр засветки	АМ 1.5 по классу В (IEC 904-9)
Диапазон измеряемых напряжений, В	-1,5 - +1,5
Погрешность измерения напряжений для диапазона значений холостого хода 0,5 - 1,0 В	± 1%
Дискретность измерения напряжения, мВ	0,3
Диапазон измеряемых токов, А	0 - 8,0
Погрешность измерения тока для диапазона значений короткого замыкания 0,7 - 5,0 А	± 1%
Дискретность измерения тока, мА	1,3
Длительность импульса засветки, мс, не более	10
Поддерживаемая температура столика, °C	25 ±0,5

СВЧ-релаксометр MWR-2S-3

Предназначен для бесконтактного измерения времени жизни неравновесных носителей заряда в кремниевых слитках.

Параметр	Значение
Параметры лазерного светодиода:
длина волны, нм	975
диапазон регулировки мощности   в зоне измерения, мВт	50 - 500
диапазон регулировки длительности   импульса, мкс	2 - 64
Рабочая частота СВЧ-генератора, ГГц	10
Размеры измеряемого объекта:
высота, мм	< 210
ширина, мм	< 210
длина, мм	160 - 300
Минимальный шаг измерения, мм	1
Удельное сопротивление объекта, Ом·см	0,5 - 12
Диапазон измеряемого времени жизни, мкс	0,8 - 300
Электропитание, В	~230 (50 - 60 Гц)
Энергопотребление (без ПК и монитора), Вт	< 100
Габаритные размеры, мм	365 x 645 x 565
Вес, кг	30

Измеритель удельного электрического сопротивления
полупроводниковых слитков TRM 0,1/100i

Предназначен для бесконтактного измерения удельного электрического сопротивления на поверхности полупроводниковых слитков, пластин и потскрапа.

Параметр	Значение
Диапазон измеряемого удельного сопротивления, Ом·см	0,001 - 100
Допустимая погрешность измерения, %	5
Допускаемая дополнительная погрешность измерения удельного сопротивления, %	0.5
Время одного измерения, с	2
Минимальный размер поверхности измеряемого образца, мм	30x30
Условия измерения: температура, °С относительная влажность, % атмосферное давление, кПа	+ 20 <= 80 86 - 106
Электропитание (однофазная сеть переменного тока), В / Частота, Гц	~230 / 50
Потребляемая мощность, Вт	<= 5
Габаритные размеры тестера (ДxВxШ), мм	280x200x60